射頻探針是我們在片測試時不可少的工具，它在射頻產品生命周期中幾乎每一個階段都起著重要作用：從技術開發，模型參數提取，設計驗證及調試一直到小規模生產測試和最終的生產測試。通過使用射頻探針，人們便有可能在晶片層次上測量射頻組件的真正特性。這可以將研究和開發時間縮短并且大大降低開發新產品的成本。
基本要求和工作原理：
1、射頻探針的50-Ω平面傳輸線應當直接與DUT壓點相接觸而不用接觸導線。對于微帶線和隨后的共面探針設計，探針的接觸是用小的金屬球來實現的，這個金屬球要足夠大以保證可靠且可重復性的接觸。
2、為了能同時接觸到DUT的信號壓點和接地壓點，需要將探針傾斜。這個過程被稱為“探針的平面化”。
3、探針的接觸重復性比同軸連接器的可重復性要好得多。便于進行探針極尖和在片標準及專用校準方法的開發。
4、具有很高重復性的接觸可以進行探針的準確校準并將測量參考平面移向其極尖處。來自探針線和到同軸連接器的過渡所產生的探針的損耗及反射是通過由射頻電纜和連接器的誤差相類似的方式而抵消的。
5、由于其很小的幾何尺寸，人們可以假設平面標準件的等效模型純粹是集總式的。此外，人們可以從標準件的幾何尺寸來很容易地預測模型參數。
