探針臺(tái)是一種成熟的工具，用于測(cè)試硅晶片、裸片和開(kāi)放式微芯片上的電路和設(shè)備。它允許用戶將電子、光學(xué)或射頻探針?lè)胖迷谠O(shè)備上，然后測(cè)試該設(shè)備對(duì)外部刺激(電子、光學(xué)或射頻)的響應(yīng)。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以更復(fù)雜，涉及復(fù)雜微電路的全功能測(cè)試。它的應(yīng)用行業(yè)有許多，常見(jiàn)的包括半導(dǎo)體、光電以及集成電路等行業(yè)，半導(dǎo)體企業(yè)不僅有效促進(jìn)了經(jīng)濟(jì)發(fā)展。主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測(cè)試，能夠提供磁場(chǎng)或變溫環(huán)境，并進(jìn)行高精度的直流/射頻測(cè)量。
可以在整個(gè)晶圓上或被鋸成單個(gè)芯片后運(yùn)行測(cè)試。整個(gè)晶圓級(jí)的測(cè)試允許制造商在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的不同階段多次測(cè)試設(shè)備，并密切監(jiān)控制造以查看是否存在任何缺陷。在封裝之前對(duì)單個(gè)芯片進(jìn)行測(cè)試可以將有缺陷的器件從流通中移除，確保僅封裝功能器件。在整個(gè)研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析中都有很大的用途，工程師需要靈活而準(zhǔn)確的工具來(lái)對(duì)設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行一系列測(cè)試。
探針臺(tái)應(yīng)放在堅(jiān)固穩(wěn)定的臺(tái)面上，如地基有震動(dòng)的情況，需要配置主動(dòng)防震裝置，避免在高溫、潮濕、激烈震動(dòng)、陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用溫度范圍為5℃～40℃，濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門(mén)窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。
